Magnescale磁尺BS65-160R

来源：作者：王定辉时间：2017-08-15 返回

BS65系列型号：

BS65-160R
BS65-260R
BS65-360R
BS65-460R
BS65-560R
BS65-660R
BS65-760R
BS65-860R
BS65-996R

产品介绍：信号波長： 138nm
●
高精度原点を内蔵
精度： ±0.1μm
●
スケール有効長： 160～960mmの9機種ラインアップ
●
レーザ光波干渉計並みの高精度、
高分解能
精度：（0.1＋0.4L/100）μmp-p
L ：有効長
（mm）
分解能： 0.07nm
●
マグネスケール並みの扱い易さと信頼性
（取付?調整）
●
空気の流れ、
気圧変化に対して安定
●
青板ガラス使用： 8×10
ー6
/°
C
（有効長： 160～960mm）
●
主な用途
半導体製造装置、検査機器、精密加工機器、精密測定器?試験機など